एससीएल में आरएफ (RF) परिपथों के वेफर स्तर और 40 GHz तक पैकेज स्तर दोनों के लिए आंतरिक परीक्षण क्षमता है। आरएफ और डीसी का अभिलक्षणन पूर्णत: यहीं पर किया जाता है। प्रमुख उपकरणों की क्षमताओं का उल्लेख नीचे दर्शाया गया है :

• वेक्टर नेटवर्क विश्लेषक (VNA)
• वर्णक्रम विश्लेषक: रव (Noise) फिगर मापन सहित 26.5GHz तक
• सिग्नल जनित्र: 250 KHz से 40GHz , +4dBm to -130dBm, माडुलन
• प्रतिबाधा विश्लेषक: 1 MHz से 3 GHz, मापन- |Z|,|Y|,Ls,Lp,Cs,Cp,Rs,Rp,X,G,B,D,Q,Өz, Өy, εr, μr, tan δ
• पावर मीटर: डीसी-40 GHz , -30 dBm to + 20 dBm
• आर एफ प्रोबर: मैनुअल (समिट 11K) और अर्द्ध-स्वचालित (समिट12K) ताप नियंत्रक चक सहित आरएफ प्रोबर

एससीएल में मेम्स परिपथों के लिए आंतरिक परीक्षण क्षमता है। प्रमुख उपकरणों की क्षमताओं का उल्लेख निम्नानुसार है :

• तापमान अंशशोधक :-
  तापमान रेंज :-
  -35ºC से 100ºC (फ्लूक, 7380, ईथनोल)
  35ºC से 280ºC (फ्लूक, 6330, सिलिकॉन ऑयल)
  रेफ्रेंस हाई प्रीशिजन पीआरटी: मॉडल सं. 5628
  तापमान रेंज: --200 ºC से 661 ºC
  आधारभूत परिशुद्धता: 0ºC पर ± 0.006
• TiRA-Vib शेकर:-अधिकतम त्वरण: 110g; आवृत्ति रेंज: 7KHz
• लेज़र डॉपलर वाइब्रोमीटर
• वेफर प्रोबर
• दाब नियंत्रक / अंशशोधक:-
  200 बार तक (स्वचालित अंशशोधक):
  1. जीई, रूस्का 7250 (1.6 बार);
  2. फ्लूक, पीपीसी4 (1.6 बार, 20 बार);
  3. वीका सीपीसी8000 (50 बार);
  4. फ्लूक, 6270A (70 mBar, 200 बार)
  600 बार तक (मैनुअल, डेड वेट अंशशोधक): डीएच बुडनबर्ग (600 बार)
• निर्वात पम्प
• तापमान कक्ष:- मॉडल:Espec, बीटीजेड-175ई (2 की संख्या में );तापमान रेंज: 70ºC से 180ºC ; परिशुद्धता: ±0.5°C